Laser để kiểm tra, đo lường chất bán dẫn và thao tác quang học
1. Laser để kiểm tra và đo lường chất bán dẫn
Khi sự phức tạp trên bề mặt wafer ngày càng tăng, điều cần thiết là các thiết bị chế tạo này phải được giám sát để tối ưu hóa và kiểm soát chất lượng, cả trong và sau quá trình xử lý.
Các thông số quan trọng – chẳng hạn như độ dày màng mỏng hoặc sự không đồng nhất trong lắng đọng, khuyết tật, lỗ và vết xước, độ phẳng tổng thể, độ lệch trong cấu trúc tinh thể hoặc tính nhất quán của pha tạp – có thể được phát hiện và tối ưu hóa bằng cách sử dụng một số kỹ thuật đo giao thoa.
Phép đo giao thoa laser và việc theo dõi mẫu giao thoa từ bề mặt wafer là điều cần thiết để kiểm soát một số thông số này, cũng như phép đo ellipsome laser, cho phép phân giải bước sóng phụ của các đặc điểm này, dưới giới hạn nhiễu xạ của ánh sáng. Kiểm soát độ chính xác và độ đồng đều của độ dày lớp tối ưu hóa việc sử dụng vật liệu, cải thiện hiệu suất và giảm số lỗi trong quá trình – do đó làm cho quá trình sản xuất hiệu quả hơn và giảm chi phí trên mỗi đơn vị.
Những kỹ thuật tương tự này cũng có thể được áp dụng cho các ngành công nghiệp có độ chính xác cao khác – chẳng hạn như quang học và dụng cụ chính xác.
Các nguồn laser được sử dụng trong các ứng dụng này phải là tần số đơn để đảm bảo mẫu giao thoa chính xác, trong đó các đường truyền hẹp làm tăng tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu. Những tia laser này cũng yêu cầu độ ổn định phổ và công suất đặc biệt, cũng như độ dài liên kết dài, để loại bỏ sai số trong quá trình đo kéo dài và đảm bảo hoạt động ổn định. Chất lượng chùm tia, chẳng hạn như độ ổn định trỏ hoặc độ elip, cũng rất quan trọng đối với các phép đo giao thoa chất lượng cao.
UniKLasers thiết kế và sản xuất các nguồn laser đơn tần, công suất cao với độ ổn định bước sóng vô song, đường truyền hẹp và độ dài liên kết dài trên một dải bước sóng trong phạm vi nhỏ. Chúng tôi hiện cung cấp các tia laser tần số đơn trong các vùng màu đỏ và xanh lục của quang phổ khả kiến với Sê-ri Solo 640 và Sê-ri Duetto 532 của chúng tôi tương ứng; để bổ sung cho sự phát triển của chúng tôi về một loạt các nguồn UV, để tạo điều kiện thuận lợi cho việc đo lường khi giảm kích thước tính năng.
2. Laser cho thao tác quang học
Khi ánh sáng laser được hội tụ vào một hạt, nó trải qua sự thay đổi chiết suất và thay đổi một chút hướng di chuyển của nó, di chuyển dọc theo gradien cường độ điện trường. Điều này tạo ra một lực ngược lại lên hạt và nếu hạt nhỏ hơn bản thân chùm sáng, nó sẽ bị ‘mắc kẹt’ ở tâm của eo chùm, nơi cường độ điện trường là cực đại.
Đây đã được chứng minh là một công cụ hữu ích cao trong nhiều lĩnh vực. Tất cả mọi thứ từ các nguyên tử riêng lẻ, máy vi mô tùy chỉnh và các tế bào sinh học đều đang được điều khiển bằng kỹ thuật này. Hầu hết các mẫu sinh học không bị hư hại bởi bức xạ NIR, chẳng hạn như 1064 nm. Như vậy, các nhà khoa học hiện có thể dễ dàng phân lập các vi khuẩn và vi rút riêng lẻ để nghiên cứu mà không cần can thiệp một cách máy móc vào chúng.
Chìa khóa của kỹ thuật này, để đạt được ‘độ bám chắc’ trên các hạt, là công suất và độ ổn định hướng đặc biệt, cùng với sự luân chuyển chùm tia tuyệt vời và tiếng ồn thấp.
UniKLasers thiết kế và sản xuất các nguồn laser đơn tần, công suất cao với chất lượng chùm tia vượt trội trên một dải bước sóng trong phạm vi nhỏ. Chúng tôi hiện cung cấp các tia laser tần số đơn trong các vùng màu đỏ và xanh lục của quang phổ khả kiến với Se-ri Solo 640 và Sê-ri Duetto 532 của chúng tôi tương ứng; để bổ sung cho Solo 1064 của chúng tôi, để tạo điều kiện thuận lợi cho các phép đo sinh học trên một loạt các ứng dụng.
0247.303.8678
https://www.youtube.com/watch?v=31G4sAr8Ljk